專業(yè)維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 、美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業(yè)的技術(shù)，更迅速的響應(yīng)高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。
　　主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等國際品牌 RF 射頻電源及直流電源 。同時(shí)為各地區(qū)的半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供專家級射頻電源維修保養(yǎng)。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護(hù)服務(wù)。
Ion Beam Drive ： ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500
　　DC( 直流系列 ) ：

MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ； MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ； PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、 Pinnacle 12KW 、 Pinnacle 10KW 、 Pinnacle 20KW 、 Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、 PINNACLE 3000 ； PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ； DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ； MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ； SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ； E'Wave ； DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR

　　AC( 交流 / 中頻系列 ) ：

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ；   PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ； PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200 ； PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ； Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D