黃河水電啟動(dòng)國家科技重大專項(xiàng)電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)

    日前，國家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(即：國家02專項(xiàng))電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)工作在黃河公司新能源分公司啟動(dòng)。

    該項(xiàng)目由黃河公司新能源分公司和光伏技術(shù)中心共同承擔(dān)，針對(duì)40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品進(jìn)行研發(fā)。該公司2500噸/年多晶硅項(xiàng)目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》的首批企業(yè)之一，也是全國唯一一家能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)一等品多晶硅的企業(yè)，成功填補(bǔ)了國內(nèi)半導(dǎo)體應(yīng)用材料的空白。

    據(jù)了解，此次黃河公司承擔(dān)的40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品對(duì)純度和其參數(shù)有嚴(yán)格要求，該項(xiàng)目是通過精餾系統(tǒng)和還原爐系統(tǒng)生產(chǎn)過程中關(guān)鍵技術(shù)研究及工藝改進(jìn)，來提高中間產(chǎn)品純度，并通過完善對(duì)中間產(chǎn)品和氫氣等關(guān)鍵材料的分析方法實(shí)現(xiàn)全過程質(zhì)量控制,完成產(chǎn)品質(zhì)量整體提升，預(yù)計(jì)2016年12月完成。項(xiàng)目的成功實(shí)施將打破中國40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品完全依靠國外進(jìn)口的歷史。

    此次黃河公司申報(bào)的國家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(02專項(xiàng))電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)項(xiàng)目于今年5月26日由專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室正式批復(fù)同意，該項(xiàng)目將通過事后立項(xiàng)事后補(bǔ)助的方式，獲得國家財(cái)政補(bǔ)助。<