I、MF磁過濾等離子體源電源系統(tǒng)
主要用途
　　MF磁過濾等離子體源電源是為磁過濾等離子體源專門配套設(shè)計(jì)的專用電源系統(tǒng)，它包括直流電弧電源、磁過濾管偏壓電源、導(dǎo)向磁場激勵(lì)電源和聚焦磁場電源、引弧接口，共裝于一個(gè)機(jī)柜內(nèi)。各電源的監(jiān)測儀表、控制按鈕、調(diào)節(jié)電位器等位于同一機(jī)柜前面板上，便于操作和監(jiān)測。主要用于高級成膜設(shè)備和等離子體浸沒式離子注入設(shè)備。該專用成套電源全部采用高頻逆變技術(shù)，具有體積小、效率高、重量輕的特點(diǎn)，并且參數(shù)穩(wěn)定，穩(wěn)流、穩(wěn)壓精度高，完全能滿足產(chǎn)生高質(zhì)量、高穩(wěn)定度等離子體源的要求。
主要參數(shù)
　　 1. 直流弧電源
　　　 (1)具有手動(dòng)/自動(dòng)引弧功能
　　　 (2)空載電壓≥80V，工作電壓10～50V
　　　 (3)自動(dòng)穩(wěn)流，穩(wěn)流精度1%
　　　 （4）最大工作電流200A
　　 2. 導(dǎo)向磁場激勵(lì)電源
　　　 (1)工作電壓5～50V
　　　 (2)自動(dòng)穩(wěn)流，最大工作電流30A
　　 3. 過濾管偏壓電源
　　　 (1)工作電壓3～30V，自動(dòng)穩(wěn)壓
　　　 (3)最大工作電流60A
　　 4. 聚焦磁場激勵(lì)電源
　　　 (1)工作電壓10～100V
　　　 (2)自動(dòng)穩(wěn)流，最大工作電流15A

II、ECR微波等離子體源電源系統(tǒng)
主要用途
　 ECR微波等離子體源電源系統(tǒng)是專門為利用微波激勵(lì)的ECR等離子體源而設(shè)計(jì)，包括陽極電源、燈絲電源和磁場激勵(lì)電源。電源全部采用高頻開關(guān)逆變技術(shù)，具有體積小、重量輕、效率高的特點(diǎn)。其參數(shù)穩(wěn)定，具有自動(dòng)穩(wěn)壓或自動(dòng)穩(wěn)流功能，參數(shù)穩(wěn)定度高，集成在一起后，操作方便，觀測直觀。該電源及配套的微波管、等離子體激勵(lì)腔及引出磁場配合，可產(chǎn)生低氣壓、高密度、大面積均勻的氣體等離子體源，廣泛應(yīng)用于PECVD、等離子體活化、等離子體聚合、等離子體清洗、等離子體浸沒式離子注入等。
主要參數(shù)
　　1. 陽極電源
　　�。�1）輸出電壓：3.5～4.5kV，自動(dòng)穩(wěn)壓，穩(wěn)壓精度1%
　　�。�2）輸出電流：0～300mA
　　2. 燈絲電源
　　　（1）輸出電壓：3～30V
　　�。�2）輸出電流：5～15A，自動(dòng)穩(wěn)流，穩(wěn)流精度1%
　　3. 磁場電源
　　�。�1）輸出電壓：0～100V
　　�。�2）輸出電流：20～100A，自動(dòng)穩(wěn)流，穩(wěn)流精度1%
　
III、激光電源及控制系統(tǒng)
主要用途
托卡馬克等離子體參數(shù)診斷
主要參數(shù)
　　 1．振蕩級儲能電容：100～120μF/2000V　 8組充電電壓　1100V～1300V
　　 2．放大級儲能電容： 600μF/2000V　 8組充電電壓　3000V～4000V
　　 3．振蕩級晶閘管:　 IF≥300A　　 VRM≥2000V
　　 4．放大級晶閘管:　 IF≥2000A　　VRM≥4500V
　　 5．充電時(shí)間:　　　 ≤200S
　　 6．振蕩級放電脈沖滯后時(shí)間(滯后于放大級) 10～500μs
　　 7．電容器組間放電間隔:　 3～1000 ms
　　 8．第一放電脈沖延時(shí):　　 200～999 ms
　　 9．電容充、放電電壓誤差：　　≤±1%
系統(tǒng)功能：
　　 1.電源充放電控制器的相應(yīng)狀態(tài)以及充電進(jìn)程由計(jì)算機(jī)控制顯示；
　　 2.控制計(jì)算機(jī)有電容器組間放電間隔和第一放電脈沖延時(shí)兩項(xiàng)參數(shù)的設(shè)置優(yōu)先
　　　 權(quán)；
　　 3.控制計(jì)算機(jī)與電源充放電控制器通過串口進(jìn)行通訊，通訊距離50～100m；
　　 4.能實(shí)現(xiàn)單級放電(僅振蕩級或放大級)、單脈沖放電或8脈沖放電；
　　 5.具有充電電壓、充電時(shí)間、放電時(shí)間間隔、延遲時(shí)間、單級放電/兩級放
　　　 電以及脈沖放電方式（單脈沖/8脈沖）顯示；
　　 6.具有系統(tǒng)工作狀態(tài)顯示：充電、放電、觸發(fā)（手動(dòng)/遠(yuǎn)程）、電容清零、通
　　　 訊、標(biāo)定；
　　 7.提供電壓、電流測量接口；
　　 8.有放電電壓監(jiān)測及報(bào)警

Ⅳ、等離子體行波管陽極電源
主要參數(shù)
1.輸出電壓：20kV～30kV連續(xù)可調(diào)
2.最大脈沖電流：5A
3.輸出脈寬：5μs～1ms
4.占空比：1/1000～1/100
5.脈沖輸出電壓頂降：＜1%
6.輸出電壓脈動(dòng)（直流）：＜1%
7.每個(gè)脈沖重復(fù)電壓穩(wěn)定度（平頂）：＜1%
8.脈沖上升和下降時(shí)間：＜5μs
9.可單脈沖工作，脈沖寬度：5μs～1mS
10.能直流工作，工作電流 0～1A
11.連續(xù)工作時(shí)間：≥12小時(shí)
12.具有輸出短路保護(hù)及自恢復(fù)功能
13.通用接口：由邏輯電平控制電源的接通、關(guān)斷及工作方式選擇（單脈沖
　 工作方式、連續(xù)脈沖工作方式或直流工作方式）；由模擬量控制電壓、
　 調(diào)節(jié)脈寬和占空比。
14.提供DC+15V、200mA, DC-15V、200mA直流穩(wěn)壓電源
保護(hù)措施：
（1）提供陽極過流保護(hù)脈沖、電源在接到保護(hù)脈沖后10μs內(nèi)關(guān) 斷。
（2）電源內(nèi)部兩級保護(hù)。
（3）保護(hù)電流：0.1A～1A（電位器可調(diào)）。
（4）保護(hù)延遲時(shí)間：0～500μs（電位器可調(diào)），陽極接地。