AE RF Generator Repair
公司名稱(chēng)：廣州市伊恩埃半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
所屬類(lèi)別：電源應(yīng)用分類(lèi)>>電鍍電源
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯(lián)系電話(huà)：86-20-86585859
聯(lián) 系 人：林先生
更新時(shí)間：2010-4-27 15:33:44
所屬類(lèi)別：電源應(yīng)用分類(lèi)>>電鍍電源
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產(chǎn)品詳情
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-7kW/13
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-5513
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-3013
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 RFG-1250HALO
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 VHF-2060 2KW
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 HFV-8000 5/8KW
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-1513
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-3513
AE(Advanced Energy) RF電源
Paramount™ 射頻功率輸送系統(tǒng)
這款半機(jī)架的3kW 的 Paramount™ 射頻 (RF) 功率輸送系統(tǒng)擁有更強(qiáng)的功率和阻抗測(cè)量性能，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過(guò)3:1），為您帶來(lái)出色的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的等離子阻抗保持實(shí)時(shí)同步，Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)能為新一代技術(shù)節(jié)點(diǎn)帶來(lái)更快的轉(zhuǎn)換速度、更少的制程步驟以及更短的制程時(shí)間。其阻抗測(cè)量精度可與網(wǎng)絡(luò)分析儀的水平相媲美，而可選頻率的調(diào)諧幾乎可以瞬間實(shí)現(xiàn)（達(dá)到毫秒數(shù)量級(jí)），其速度較市場(chǎng)上的任何其它產(chǎn)品都快。從而實(shí)現(xiàn)真正卓越的精確性、可重復(fù)性和對(duì)制程的控制。
Apex® 射頻供電系統(tǒng)
通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統(tǒng)采用復(fù)雜的射頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，在適合于真空室安裝的模塊化設(shè)計(jì)中提供增大的產(chǎn)品和工藝可靠性。Apex 平臺(tái)在針對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示器或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)制造以等離子為基礎(chǔ)的薄膜工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。
HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源
靈活的 HFV® 電源主要用作200和300 mm 晶圓制程、平板顯示器和 DVD 設(shè)備的等離子發(fā)生器，為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了工藝一致性。這種通用電源的特點(diǎn)有數(shù)字合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率電平為3、5和8 kW。此外，其輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz。固件上的頻率調(diào)諧參數(shù)可進(jìn)行定制，以確保在各種真空室結(jié)構(gòu)和工藝方法下的可重復(fù)運(yùn)行。
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