“硅電容/硅壓阻復合傳感器推研會”在沈陽召開

　　由中國儀器儀表行業協會、中國機械工業集團公司、中國儀器儀表行業協會傳感器分會聯合主辦，沈陽儀表科學研究院承辦的“硅電容/硅復合傳感器新技術、新產品推研會”日前在沈陽金劍大廈召開。

　　會議由中國儀器儀表行業協會董景辰副秘書長主持，中國儀器儀表行業協會副理事長朱明凱、中國機械工業集團公司副總裁徐建、沈陽市科技廳副廳長蔡彗星及沈陽儀表科學研究院院長徐開先分別致辭，沈陽儀表科學研究院的張治國、唐慧、張春曉高工做了技術報告，講解了這些產品在科研與生產中遇到的問題和解決的辦法，以及用戶及專家的評價等等；吉化集團檢修公司盧宏總經理介紹了雙方合作的成果。

　　本次推研的主要技術和產品有：（1）用硅電容原理、MEMS工藝研制的硅電容傳感器/智能變送器。（2）利用硅壓阻原理、MEMS工藝研制的硅壓阻復合傳感器、硅壓阻多功能變送器。（3）Profibus總線儀表。主要有：硅壓阻Profibus智能變送器、硅電容Profibus智能變送器、HB3120型密度變送器、HB2901型氧氣濃度變送器、HB3200型微水變送器、HB5200檢測裝置。

　　這些新產品采用了MEMS工藝、全固態封接、SOI隔離、懸浮結構、數字技術等先進技術，突破了一系列關鍵技術，具有自主知識產權，符合市場需求，填補了該項產品的國內空白。

　　國內數十家產品用戶、合作廠商參加了推研會，會議推出的系列產品引起了業內外的廣泛關注。